奮起直追 推動高能離(lí)子注入機自立自強-中(zhōng)國電(diàn)子科技集團有限公司

編者按：

電(diàn)子強軍，科技報國。中(zhōng)國電(diàn)科深入學習貫徹習近平總書(shū)記重要講話(huà)精神和重要指示批示精神，秉承軍工(gōng)電(diàn)子主力軍、網信事業國家隊、國家戰略科技力量的使命責任，堅決履行強軍首責，聚力推動改革創新，用一(yī)型型“大(dà)國重器”服務武器裝備現代化和高水平科技自立自強。爲展現電(diàn)科人爲強國強軍事業的不懈追求，特開(kāi)設“中(zhōng)國電(diàn)科與大(dà)國重器”專欄報道，今日推出報道“奮起直追 推動高能離(lí)子注入機自立自強”。

“成功了！成功了！”

　　仲夏深夜，在北(běi)京東南(nán)方的中(zhōng)國電(diàn)科所屬北(běi)京爍科中(zhōng)科信設備研發中(zhōng)心，傳來一(yī)聲聲激動的呐喊聲，困擾研發團隊已久的高能離(lí)子注入機核心技術難關得到突破！幾日後，好消息傳來，由該團隊自主研制的國内首台高能離(lí)子注入機順利進駐國内先進集成電(diàn)路大(dà)生(shēng)産線。

　　高能離(lí)子注入機是離(lí)子注入機中(zhōng)技術難度最大(dà)的機型，是我(wǒ)國集成電(diàn)路制造裝備産業鏈上亟待攻克的關鍵一(yī)環。

　　習近平總書(shū)記指出，突破“卡脖子”關鍵核心技術必須堅持問題導向，發揮新型舉國體(tǐ)制優勢，踔厲奮發、奮起直追，加快實現科技自立自強。

　　中(zhōng)國電(diàn)科貫徹落實習近平總書(shū)記重要指示批示精神，發揮集團公司國家戰略科技力量重要作用，下(xià)定決心、保持恒心、找準重心，加快補齊産業鏈供應鏈短闆弱項，提升關鍵核心技術掌控力。

　　作爲集成電(diàn)路芯片制造的關鍵設備，離(lí)子注入機設備的研制難度極大(dà)、研制基礎薄弱。“決不能讓芯片制造斷鏈短鏈！”懷揣裝備報國的理想，研發團隊正式向關鍵裝備研制發起了挑戰，經過艱苦努力，在成千上萬遍實驗模拟後，實現了中(zhōng)束流、大(dà)束流、高能、特種應用及第三代半導體(tǐ)等全譜系離(lí)子注入機自主創新發展，大(dà)幅縮小(xiǎo)了與國際一(yī)流水平差距。

　　聚焦全産業鏈，高端裝備産業化也已然邁出新步伐。中(zhōng)國電(diàn)科董事長、黨組書(shū)記陳肇雄強調，要充分(fēn)發揮電(diàn)子信息領域完整産業鏈優勢，統籌戰略需求，保持恒心定力，補齊短闆弱項，強化“非對稱”趕超戰略思維，以長補短、換道超車(chē)，堅決打赢關鍵核心技術攻堅戰。

　　堅持推進高水平科技自立自強澎湃向前。近年來，中(zhōng)國電(diàn)科積極布局集成電(diàn)路制造裝備、三代半導體(tǐ)等一(yī)批重點産業領域，成效顯著：圍繞支撐集成電(diàn)路産業發展的電(diàn)子制造裝備領域、電(diàn)子功能材料領域，中(zhōng)國電(diàn)科已形成離(lí)子注入機、化學機械平坦化設備（CMP）等拳頭産品，集成電(diàn)路關鍵制造裝備産業規模化、産品系列化步伐明顯加快，關鍵領域保障能力不斷增強，有效提升産業鏈供應鏈現代化水平；聚焦半導體(tǐ)制造、半導體(tǐ)應用，中(zhōng)國電(diàn)科連續攻克數百項關鍵核心技術，填補了産業鏈空白(bái)；着力打造國産集成電(diàn)路和三代半導體(tǐ)裝備驗證平台，封裝組裝、新能源、新型顯示裝備及其智能制造集成服務核心競争力優勢不斷提升。

　　未來，中(zhōng)國電(diàn)科将繼續瞄準國家重大(dà)戰略需求，在關鍵核心技術上全力攻堅，爲高水平科技自立自強作出更大(dà)貢獻。